二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293816021 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S是一种先进的机器人扩散炉及辅助系统，用于半导体组装过程。它用于在集成电路制造的基材制备阶段，在晶片上产生砷、磷、硼、移相掺杂剂的薄层。炉子配有独特的循环系统，允许它在任何给定时间最多容纳四个不同掺杂的晶片，并通过扩散过程的浆液或蒸气相循环这些晶片。这样可以提高吞吐量和提高周期时间,同时保持最高质量标准。TEL ALPHA-8S还具有自动输送机装卸系统。这使得晶片能够快速高效地带入腔室，经历了一系列步骤，如存放在篮子里烘烤，装载到预定义的托盘上，扩散处理，从托盘上卸下，然后带出腔室。此外，TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S包括一个能够灵活加热和冷却循环的真空容器。其安全系统包括用于检测循环中任何故障或故障的三区排气监测器，形成劣质层时自动关闭，以及在腔室外检测到任何运动时关闭扩散过程的运动传感器。TEL ALPHA-8 S是一种强大可靠的扩散炉及附件系统.它能够容纳多个晶片，保持周期时间低，并为扩散过程提供安全的环境，使其成为任何生产线的绝佳工具。它还具有批量处理等各种可选功能以及处理超薄层的能力,因此具有高度可定制性。通过对扩散过程的精确控制，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S确保生产线接近最大容量而不会影响质量。