二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293816022 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是用于制造半导体器件的扩散炉及其相关配件。它旨在满足现代半导体制造商在高吞吐量和精确度方面的严格要求。扩散炉配备了高效的热循环设备，确保了热循环的均匀性和可重复性。此外，该炉还配备了先进的预热、冷却和操作控制，确保了优越的工艺控制。该炉采用坚固的不锈钢框架和圆柱体建造，以确保它能够承受高温并产生均匀的结果。该扩散炉具有高达1200摄氏度的温度范围和控制热循环参数的四维控制系统。它还具有直径25厘米、最大高度300厘米的炉膛尺寸，以提高吞吐量。扩散炉配有多个配件，以增强工艺。它配备了数字正常化单元（DNS），能够精确校正轮廓偏差，以改进过程控制。此外，它还配备了电阻归一化机（RNS），有助于半导体器件中电阻率的归一化。同时还配备了集点跟踪（Set Point Tracking, SPT）工具，提高了电源的可控性和准确性。TEL ALPHA-8S还配备了双晶体监视器（DCM），用于监测晶圆的温度以及晶体在炉中的位置。该炉还配备了数据输出接口（DOI），用于监测晶圆温度、压力和位置等参数。总体而言，TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S扩散炉及其配件是一种高度可靠、高效的资产，非常适合半导体器件的制造，能够精确处理复杂的热循环参数。其增强的控制系统提供了出色的过程控制和可重复性，熟练地处理高度精确的热循环。它是寻找卓越性能的半导体器件制造商的理想选择。