二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293816024 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S扩散炉是为可持续半导体应用而设计的强大可靠的设备。TEL ALPHA-8S为更快、更可靠的扩散提供了卓越的工艺,具有卓越的加热器均匀性、精确的温度均匀性和经济高效的300 mm基板性能。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S利用高效强大的气体输送系统，配有三对一气体歧管和集成气体探测器。这允许对单个气体进行精确控制，以实现精确的均匀性和实现最佳的扩散剖面。TEL ALPHA-8 S提供了一个隔离的区域，用于统一的温度控制，并且可以在整个过程中相对较快的温度。为了确保安全高效的操作,TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S采用了最新的安全技术,具有防止过压情况、紧急关闭阀和自动关闭流量控制的过压保护功能。为确保统一的温度控制，TOKYO ELECTRON ALPHA 8S配备了八个独立控制和热耦合的载荷锁。通过对多个负载锁进行精确的温度控制，可以实现优化的晶圆温度水平控制，提高生产率和晶圆冷却时间。ALPHA-8 S还包括一个高级配方和过程控制接口。这个直观的控制单元允许用户创建、审阅、监视和调整配方和处理步骤,只需单击鼠标几下。面向批处理的软件允许用户根据需要即时调整产品或配方,从而为流程增加了更大的灵活性。除了这些特性，TOKYO ELECTRON ALPHA-8S还提供了广泛的特殊配件。这包括波纹抑制器、催化泵、腔室、工艺气体、气体分析仪和加热器，以及各种最大150毫米晶片的持有者。所有这些配件都是为了给用户一个他们可以依赖的完整而有效的包装而设计的。总体而言，ALPHA 8S是一种先进的扩散炉机器，具有卓越的工艺和技术，设计用于可靠和可靠的半导体应用。利用高效先进的控制工具，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S提供精确的温度控制和更快的扩散，具有优异的加热器均匀性和基板兼容性。