二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293822718 待售
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ID: 293822718
晶圆大小: 8"
Vertical Diffusion Furnace, 8"
HDD
Software
Temperature: 1050°C
No Quartzware
Densification
Wafer Transfer Robot
Standard Mechanical Interface (SMIF)
Process: Gate Oxidation.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一种先进的扩散炉,配有多种旨在提高效率和生产率的配件。利用最新的高温氧化(HTO)技术,TEL ALPHA-8S能够同时快速热处理多个样品。其坚固的构造和专门的部件允许对广泛的工艺温度范围进行精确的控制,使其适用于扩散、氧化、氮化等多种应用。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S独特的工艺设计确保了均匀的加热,以下特性确保了增强的性能。使用大气气体解锁机构可达到高达5 x 10-1 Torr的真空。它具有高度精确的双温双压输出控制设备,能够实现均匀的热处理。低粒子环境是通过有效的滤波器交换系统和腔室疏散单元相结合实现的。此外,它的签名设计消除了环境空气在扩散过程中的影响,从而产生了高效的处理时间和改进的结果。TEL Alpha 8S还包括增强的附件,以最大限度地提高用户体验。自动气体直通机允许快速可靠地进入多种气体,而无需每次打开腔室门,自动反馈信号工具迅速通知你任何过程不规范,允许立即纠正。耐腐蚀的碳化硅迭加机构可防止磨损,确保顶部性能。前端晶圆传输附件便于访问和扩展使用。总体而言,ALPHA 8 S扩散炉及其附件提供了高度精确和均匀的热处理控制.TOKYO ELECTRON的用户友好型设计、坚固的结构、先进的自动化功能和增强的配件,使TOKYO ELECTRON ALPHA-8S获得卓越成果的顶级选择。
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