二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9054816 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一种用于制造半导体器件的扩散炉及附件封装。它是一种多用途设备，既可用于批量处理，也可用于设备级处理。TEL ALPHA-8S是一种垂直式扩散炉，能够达到最高工艺温度，最高可达1,250 °C。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S的特色是单室炉可以通过安装专用盒式磁带垂直扩展。必要时还可以将盒式磁带完全从腔室中取出。这种灵活性允许对腔室应用不同的工艺参数,而无需修改盒式磁带。Cassette还设计用于在处理阶段容纳Wafer Cassettes。ALPHA 8 S使用辐射加热器控制技术,以确保室内温度均匀.这一特性保证了在沉积和蚀刻过程中电气结构和薄膜结构的良好均匀性。这些高温过程结果也得到了剪切力分析和热力计分析等先进分析技术的支持。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S还具有全自动气流控制系统。该装置设计用于调节炉膛气体温度，提供优越的气流控制。自动气流控制功能还可最大限度地减少环境空气对工艺故障的污染。除了这些特性外，TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S还附有大量配件，方便机器高效运行。这包括过程气体供应，自动载波和卡带卸载工具，载波烘烤系统和计算机控制资产。计算机控制模型允许实时过程监控，允许操作员根据需要进行调整。Alpha 8S扩散炉及附件封装是一种高质量的设备，旨在可靠地、高效地生产高质量的半导体器件。结合先进的石楠、气体和计算机控制功能，TEL Alpha 8S是任何晶圆制造工艺的理想选择。