二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9216298 待售
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ID: 9216298
晶圆大小: 8"
优质的: 2004
Vertical furnace, 8"
Process: LPCVD Nitride
Main system:
Main body
Utility box
Includes:
System layout type: U / Box Type (L)
System hand: LL
N2 Load lock
Heater type: WMM-40-101 Mid temperature
Torch heater
SMIF: TEL Integrated SMIF
Process gases:
N2 (20SLM)
N2 (5SLM)
N2 (1SLM)
NH3 (2SLM)
DCS (200SCCM)
O2 (2SLM)
Gas distribution system:
Basic style: Conventional gas system
Tubing material: Stainless steel
Tubing finish: Electro-polished
Manual valve: FUJIKIN
Air-operated valve: FUJIKIN
MFC: AERA
Wafer / Cassette handling:
Wafer type: 8" SEMI STD-Notch
Cassette type: Entergris / XT200-01E
Cassette number of wafers: 25
(16) Cassettes storage
Fork type / Material: 1+4
Fork variable pitch: Variable
Boat / Pedestal:
(150) Production wafers
Boat rotation installed
System controls:
System controller: TS-4000Z
Signal tower colors: G/R/A
General pressure display units: Pressure Mpa
Cabinet exhaust display units: Kpa
Furnace temperature controller: M121
Host communications:
Host communications: User host computer
User host computer I/F: SECS I/II (RS232)
Information transfer protocol: GEM
Equipment host I/F connection: U/BOX Top
Group controller: HIA
Power:
Voltage 3 Phase: 208 VAC
Voltage 1 Phase: 120 VAC
UPS Input voltage / Output voltage: 230 V / 230 V
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一种工业级扩散炉及配件包装，非常适合半导体和其他器件制造。TEL ALPHA-8S基于石英盒线性传输系统（QCLT）平台,这是一项突破性技术,在半导体制造中提供无与伦比的控制、精度和重复性。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S具有先进的8级工艺室，提供高性能退火、驱动和其他扩散过程。利用各级可编程温度控制，TOKYO ELECTRON ALPHA 8S可以快速加热和冷却材料，形成工艺参数紧密、器件特性均匀的完美一致的微结构。TOKYO ELECTRON ALPHA-8S还具有可调热源和小占地面积功能,可在潜在的工艺配置中实现完全的灵活性。该套件包括最大辐射均匀性的集成反射器系统，允许对温度过程进行高精度控制。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S还包括几个屏蔽和真空系统，以确保安全和不间断的扩散过程。该套件包括一个隔膜阀和一个气体选择柜，可以让你在这个过程中在不同的气体之间快速、平稳地切换。TEL Alpha 8S还配备了自动泄漏检查系统，用于监控腔室的完整性并快速识别任何气体泄漏。在安全性方面，TEL ALPHA 8 S具有多种传感器和监视器，用于检测潜在的过程危害。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S包含红外和常规高温计,用于精确的温度测量,以进一步确保准确、安全和可重现的扩散过程。除了出色的自动扩散功能外,TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S还配有一整套附件,可帮助您充分利用该包。该套件包括气动加载系统、热电偶电路、传感和控制系统，以及几个可选的额外传感器、监视器等等。总而言之，ALPHA-8 S扩散炉和附件包装是精确一致扩散过程的完美解决方桉。可靠、安全,并且有完整的控件和配件选择,此套件将确保您的下一个扩散过程成功。
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