二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9227415 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是为绝缘体硅（SOI）和蓝宝石硅（SOS）技术量身定制的扩散炉及配件。它采用了工艺工程、控制系统和最高安全标准方面的最新创新技术,为半导体制造行业的晶圆加工提供了出色的工艺灵活性。TEL ALPHA-8S具有等离子体蚀刻设备、氧化系统、排气装置、温度仪表显示和负载端口。静电卡盘（ESC）有助于保持晶圆温度和控制对SOI和SOS技术至关重要的温度敏感的氧化物蚀刻过程。ESC的硬件位于背面，真空珠位于背面。它有一个高温炉，可以加工到1050°C，并包含在一个先进的排气机中，带有加热室反压工具，以达到高水平的安全性。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S还具有一个带有图形用户界面（GUI）的控制器和一个远程监控资产，允许用户从远程位置监控他们的进程。这种远程监控模型利用Web服务器和浏览器界面，使操作员能够轻松调整配方。它还记录温度和压力测量、化学浓度和排气流量，以便进行检查和分析。一个可选的雾化设备可以集成到TEL Alpha 8S中，以创建精细的漂浮粒子群，并提供粒子在晶圆上的均匀分布。该系统还可用于修改硅、二氧化硅等薄膜材料的沉积速率和图样。除了其强大的功能集外，ALPHA 8 S遵守最高的行业安全标准，确保清洁和安全的工作环境，减少危险化学品的风险，并以控制和监测的方式使用危险化学品和材料。凭借先进的工艺工程和监控能力，TOKYO ELECTRON ALPHA-8S是现代半导体行业SOI和SOS处理的完美工具。