二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9257610 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S扩散炉及其附件被用于半导体制造厂，用于产生热和电型材，以允许掺杂剂扩散到正在加工的晶片中。TEL ALPHA-8S的特点是将石英管外容器封装在温度控制的烤箱中，采用双红外灯加热器均匀点燃晶片，并采用垂直提升机构方便晶片的拆卸和装载。此外，扩散炉还包含各种传感器和控制装置，以提供对过程热参数的精确控制。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S的内部容器由高纯度石英製成，以抵抗热冲击，处理扩散炉在加工时达到的高温。对这种石英材料进行清洗和定期检查是否有任何污染或结构破裂的迹象。双红外灯精确对准并调整，以所需的精确位置和角度定向热辐射，有助于晶圆的均匀热加热。ALPHA-8 S内置的各种温度传感器进一步帮助控制热参数。这些传感器始终跟踪晶片的精确温度,从而对过程进行严格控制。垂直提升机构还进一步加强了对过程的控制，允许精确和高效的晶圆装卸。配有TOKYO ELECTRON ALPHA 8S扩散炉的配件包括一个熔炉、石英芯片和一个MC开关盒。Crucible heater is designed to heat the crucible that is used to contains the dopant gases during processing.石英晶片通过辅助传热和隔热墙壁来维持整个腔室的均匀温度。MC开关盒用于对扩散所需的热和电过程提供精确的速度控制。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S扩散炉及其附件为掺杂剂扩散到晶圆中提供了一个高度可靠和准确的系统。耐温石英组件和辅助传感器可以对过程进行严格控制，双红外灯和垂直升力机构的精确对准也是如此。系统提供的附件提供了进一步的控制水平和效率，有助于优化扩散过程。