二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9257734 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一种计算机控制的扩散炉及附件，用于从单晶硅片创建集成电路。TEL ALPHA-8S旨在确保整个处理平面的高吞吐量处理和均匀性,允许以最少的手动干预来制造复杂的结构。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S装有垂直的3部分装载管，由石英套筒、陶瓷套筒和金属外壳组成。垂直载荷配置被设计成使整个载荷晶片与炉心的高温带对齐。这样可以确保整个装载区均匀的高温，并控制热空气的垂直对流，这有助于防止氧化和氧化损坏晶片。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S有三个加热区（HZ）：预热区（PHZ）、载荷区（LZ）和工艺区（PZ）。PHZ范围为100 °C-200 °C,用于在进入LZ之前将晶片加热到所需温度。LZ分为顶部区域（TR）和底部区域（BR）两个区域。这两个区域都配备了独立的气体和温度控制系统，可以精确控制气体流动和温度。将LZ加热至800°C-1300 °C的温度,整个装载平面的温度均匀度为+/-5°C。PZ可以达到1500°C-1800 °C的温度，同时在整个工艺平面上保持+/-5°C的均匀度。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S还提供了一套全面的附件，如气体控制台、晶圆升降机、石英和陶瓷管组件、特殊的crucibles，以及增强功能的门锁。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S可以定制，以满足用户的特殊需求。说明中手动、通过PC或通过面板显示屏提供了选项。Alpha 8S以用于Windows 95/98/NT的TEL Advantage软件的形式提供卓越的过程控制。这一功能强大的软件旨在通过简化炉的运行、协助设置过程以及提供数据记录能力来简化过程控制。该软件还提供数据分析和收集用于统计分析的预定义数据集。TEL ALPHA 8 S是性能、技术和便利性的卓越组合，允许高通量和统一集成电路的制造。它是一种可靠、易于使用的系统，适用于最大尺寸30厘米的单片加工。