二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9282234 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一种先进的扩散炉和附件，旨在为研究人员提供高精度扩散过程的经济高效解决方桉。适用于SOI （Silicon-on-Insulates）基板的超精细控制工艺，多年来一直是许多实验室的可靠工具。TEL ALPHA-8S具有自动滑动隔热气瓶，提高了工艺稳定性，降低了温度控制的不确定性。氮铵气体系统可以在一系列炉子上产生高达2个大气压的气体压力。这是有益的，因为在使用精细基板时需要增加大气稳定性。它配备了16个可手动调节的加热器（仅KS-16型号）,可提供对整个加工室区域的精确温度控制以及其他高级功能。为了给用户提供最大的灵活性，TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S系统完全可编程两个专有程序。这些程序允许根据温度、坡道速率、化学元素浓度和大气等多种参数设置高度详细和准确的过程。此外，该炉的开放式设计允许定制浴池的创建和锡和黄金时间的快速回流。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S还提供高级诊断和过程参数的连续监控。这样可以确保故障检测和保护、强大的统计数据收集以及在发生任何设备故障时自动进行温度分区。这些特性在控制和验证精确扩散和CVD（化学气相沉积）过程中特别有用。TOKYO ELECTRON ALPHA-8S设计为节能，使用G-N2的电气系统来降低耗电量，同时最大限度地提高产量。皮带式运输系统为自清洁提供了最佳环境，以减少基板污染的风险。此外,自动过滤器和磁盘系统可轻松管理300 x 500 mm至600 × 1200 mm的各种腔室,从而在广泛的处理领域提供有效和可靠的操作。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S由于其圆滑的设计、符合人体工程学的界面和持久的稳定性,是需要经济高效的可靠和精确扩散过程解决方桉的研究人员的绝佳选择。是打造SOI晶片等优质产品以及多种其他先进材料的完美工具。