二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9282766 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S扩散炉是一种最先进的半导体制造装置，具有最佳扩散过程所需的所有特性。一个扩散过程用于对半导体材料如硼和磷进行改变，使它们能够用于广泛的电气元件。TEL ALPHA-8S扩散炉具有高真空扩散室、精密基板支撑台、石英屏蔽热墙、高效喷气设备、高温辐射加热系统、均匀控制单元等多种特点。扩散室的设计旨在提供最佳的热均匀性和效率，同时确保扩散过程中的最大安全性。腔室内部由石英浮动玻璃保护，确保了均匀加热，并增强了抵御温度变化的安全性。一个集成的气体喷射机允许精确的气体扩散，使扩散过程的精确调整。基板支撑级提供了一个稳定的高真空平台，基板可以在该平台上装载。这确保稳定和可重复晶片定位，即使在长扩散运行。石英屏蔽的热墙提供了一个可控的低温环境，用于保持晶片在恒定温度下。它可靠高效，也保证了基板的温度永远不会高于子系统温度。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S扩散炉也得益于高温辐射加热工具。这项资产使用了许多反射器来提供基板的均匀加热。该模型还有助于降低基材间交叉污染的风险。最后，ALPHA 8 S扩散炉还配备了均匀性控制设备，这有助于确保每一种基材都接受相同的处理，从而得到更好、一致的结果。总体而言，TEL Alpha 8S扩散炉是一种可靠、高效的半导体制造工具。由于其精密的设计、高端的特点和均匀性的控制系统,它以最小的交叉污染和不均匀加热风险提供了精确准确的结果。
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