二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9282768 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一种先进的扩散炉，配有附件。它被设计为适合各种应用，如硅片清洗、氧化、硼注入、氮化物沉积，以及更局部的操作，如快速热处理（RTP）、快速热退火（RTA）和激光退火。TEL ALPHA-8S具有合金、反应、退火和沉积工艺的高质量元件和先进技术。它具有高达650°C/s的快速加热速率和1350°C的最高温度，使高温合金和反应过程成为可能。先进的技术包括RTP 3D、多级工艺控制、制造中的热循环测量等,可提供精确、可重复性和精确的工艺温度控制。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S凭借其先进的特性，提供了高可靠性和缩短的循环时间。扩散炉采用多孔陶瓷加热机制，使温度在2°C ±内均匀；通过降低不均匀的温度分布，扩散炉可以以相同的可靠性服务于多个同时过程。所有附件都采用了同样可靠的加热机制，而过程窗口的集成视图允许实时对过程完成情况进行清晰的评估。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S配有离子源进行沉积，其可选RTP 3D实现超精确的局部热处理。扩散炉上的多区控制单元实现了循环同步执行，进一步缩短了循环时间8%。扩散炉的内置诊断特性确保任何与操作相关的故障都容易识别和快速纠正，从而提高扩散炉的正常运行时间。ALPHA-8S是寻求可靠、高效、精确扩散炉的专业人士的理想选择。其先进的特点，如快速加热速率、均匀温度分布、RTP 3D、多区域控制和内置诊断，保证了高生产率。通过投资ALPHA 8 S,您将受益于改进的性能和提高的盈利能力。
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