二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #9383405 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S（TEL ALPHA-8S）是为先进临界级半导体器件生产而设计的扩散炉及配件。这个扩散炉具有一次处理多个晶片的能力，使得生产中的吞吐量增加。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S在5x10-7 Torr的低基压下，能在180-1400ᵒ C的温度范围内进行出色的工艺控制，工艺时间短，5-90秒不等，晶圆温度均匀性高，精度为+/-1 µm/sec。这种扩散炉的鲁棒特性和优点是将空气轴承、磁力、高精度和改进处理相结合的高效能量传递特性。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S提供了一个超高的耐镍加热系统，使其在温度控制方面更加可靠和高效。由于该系统的热阻远低于常规电阻加热，晶圆的实际温度相对较高。这提供了更高的吞吐量、更短的处理时间和更高的一致性控制。该炉还具有许多自动化和手动的安全和维护功能，例如带有氧气流动监控器的自动化环境控制，以防止基质氧化。该加工站实施了ESD保护，最大限度地减少了电子损坏，并优化了净化和排气控制，以实现最佳的气体流量和最大的清洁。优化的保护机制保护TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S免受真空泄漏、超压和晶片负载过大造成的任何潜在损害。总体而言，TEL ALPHA 8 S扩散炉对于那些希望在临界水平半导体器件生产中获得更高生产率的人来说是一个极好的选择。TOKYO ELECTRON Alpha 8S具有低基压、精确的温度控制以及优化的安全和维护功能,为优化产量提供了卓越的性能。