二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SC #9062879 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SC是一种双壳扩散炉及配件，用于半导体制造业的设备。它旨在为不同材料沉积在晶片上提供最佳环境。这种扩散炉为用户提供了广泛的功能，从高温氧化到低温硼植入。TEL ALPHA 8 SC具有一个大的石英敏感器腔，为更高效的加工提供了出色的均匀性和导热性。它的大功率线性电子回旋加速器频率加热系统可以达到高达1500 °C的温度。这台机组配备了两台低排放的高温计，在运行过程中实时监测感受器水平的温度。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-C还提供了一个自动批处理系统,该系统包含多达64个流程,可确保整个流程控制和数据收集。静电卡盘也可与这台机器安全地保持晶片到位的过程中，用可调节的反射镜直接进入等离子体。该8SC采用高速、高功率的Gas Exchange技术,可提供类似电网的退火剖面和过程稳定性以及更快的生产速度。为了提高效率，先进的风扇分离系统使耗尽的气体和颗粒远离工作区域。超压系统还可以保护晶片在操作过程中免受表面污染。TEL Alpha 8SC旨在提供高度自动化的高性能操作。它使用SafetyPlus软件,该软件可实现更快、更平稳的启动,以及更轻松、更快速的调试和升级过程,从而实现更可靠的操作。该8SC还附带了HyperDrive,这是一个可选的远程控制应用程序,适用于希望远程监视和控制进程的用户。综上所述，Alpha 8SC是一种精密的扩散炉及附件溶液，旨在高效、精确地为晶圆加工提供绝佳的适用性。它是现代半导体制造的前沿解决方桉，肯定是许多制造设施的宝贵补充。