二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SC #9206232 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SC是专门为半导体生产而设计的扩散炉及配件套装。7室设备装有两个盒式装载机，每小时最多可处理5000个晶圆。它还配备了先进的背靠背加热系统，以实现更快、更一致的加热。TEL ALPHA 8 SC利用称为TEL高速退火（HSA）的专利退火装置来实现最高质量的热预算和最小的热损失。HSA利用内盖机快速准确地引入和清除气体.它还使用"浮压温度工具"防止过热或过冷。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-C的设计考虑到了易用性。用户友好的触摸屏界面使控制腔室功能变得容易。此外，直观的软件确保了所有腔室功能的操作方便。ALPHA 8 SC包括TOKYO ELECTRON Pyro-Direct热处理（PDTP）硬件,可提供强大、精确的温度测量和控制,以确保最高热预算。此外，创新的气相沉积资产的设计在整个过程中提供统一的薄膜最大的产品质量。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SC配有集成工艺分析仪，可实时测量基板，提高工艺速率和产量。此外,通过使用外部TEL/TOKYO ELECTRON Global Real-Time Analyzer （GRTA）,用户可以测量和调整温度及其他工艺参数以优化性能。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SC还包括TEL Smart Model，它具有一套先进的故障检测和校正功能，在过程中监测晶圆温度、压力和工艺气体水平。它还支持高级控制技术,如预测建模和在线调整,以优化流程性能。TEL ALPHA 8S-C专为流程通用性而设计。它广泛的兼容性使得它能够处理各种各样的基材和工艺流程。它还采用简单的冷却设备进行设计,以使从一个工艺过渡到另一个工艺的速度更平稳、更快。总体而言，Alpha 8SC是一款高度先进、可靠、节能的扩散炉及配件套装，为半导体生产提供卓越的性能、易于操作和工艺多功能性。