二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SC #9313419 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SC是一种先进的模型扩散炉，设计用于执行各种各样的加热、退火和沉积过程。它具有最先进的设计,可确保几乎可用于任何类型的过程。构成炉子的各种部件包括一个内部钟形石英管、一个加热器和一个外部圆柱体，从而实现了高度精确的温度控制和均匀的加热。炉子配有两级石英排气设备，以及大型矩形排气口，最大排气效率。炉子内内置了多种先进的传感系统，如用于温度监测的双热电偶、用于测量石英管内压力的压力监测仪，以及用于实时监测温度和压力等炉子状况的多种遥感传感器。TEL ALPHA 8 SC配备了多种配件，使各种流程得以执行。其中包括可实现热墙和冷墙工艺的电动晶片和盖子定位器,以及一系列样品持有者、生产环和防护罩,以适应不同的样品尺寸。锁定锁存器系统允许在处理过程中将各种尺寸的晶片固定到位。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-C还具有一个集成的沉积单元，它允许薄膜层在晶圆上的精确沉积。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SC还配备了先进的安全功能，包括氮气净化机和防止外界空气污染和其他污染物的不锈钢反应室。炉盖采用双密封，防止任何烟雾和颗粒泄漏进入工作空间。此外，管半径小于25厘米的开放式石英管确保炉子能够将大气保持在接近大气压的位置。还包括一个自动门，防止在炉子冷却之前打开，提供额外的安全。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SC是一种先进的扩散炉，结合了最先进的设计和先进的特点，以确保最高温度控制、均匀加热和防止污染。其广泛的附件允许执行一系列的过程，集成沉积工具使薄膜沉积能够精确。先进的安全特性保证了炉子的运行始终以安全的方式进行。