二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SC #9383796 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SC是一种扩散炉及附件，设计用于大型半导体制造工艺。该设备允许精确控制晶圆温度、电源水平和自身操作参数。作为制造高性能集成电路的先进工具，它可以进行多种过程，包括多层扩散、退火和氧化，以及选择性发射器、CMP、低温退火和Cu再分布层。TEL ALPHA 8 SC具有用户友好的触摸屏界面和可定制的操作环境。该系统还包括几个安全特性，如双壁外室，在发生氢气泄漏时自动关闭涡轮和熔炉。该炉还配备了一个自我诊断单元，能够进行预防性维护操作，并有助于防止耗时和昂贵的维修。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-C具有独特的双区供热机，能够高效处理精细晶片并优化其面积利用。区域控制由称为分割区域操作的强大编程算法管理。此技术可确保晶圆温度保持在特定过程的最佳水平,同时将功耗降至最低。ALPHA 8S-C提供了广泛的附件,包括淋浴头、升降机构、区域控制系统、过渡支架、负载锁、滚筒升降机、机器人、端部效应器、传感器、泵和许多其他组件。此外，该工具还与各种基材兼容，包括硅、砷化氙、铜、钛、石英等。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SC的性能由先进引擎保证，如Total Exhaust Management、Exhaust Profile Control、Shared Zone Control等。这些特性为晶圆生产过程提供了无与伦比的修剪控制和温度稳定性。TEL Alpha 8SC提供可靠的操作、卓越的性能和精确的控制，使其成为大容量半导体加工的理想选择。其先进的特性、配件和用户友好的界面使其成为半导体制造不可或缺的工具。