二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SD #293741420 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SD是一种具有附件的最先进的扩散炉。它是半导体工业中用于多种工艺的一种炉，主要提供退火和扩散。该8SD有一个加热过程环境室，可提供高达1250°C的高温，还有一个冷却过程环境室，可提供高达200°C的快速热冷却速率。配备先进的活性离子植入装置和先进的活性气体退火设备。该8SD还有一个内置的频率响应监测（FRM）系统，其中包括一个热区温度监测和警报单元，以便能够控制室内的温度。活性气退火机能够保持高温轮廓，提供整个腔室的精确均匀性，从而产生更高的吞吐量。8SD还配备了大型立式加热器、高均匀性绝缘、耐高温氧化铝元件，让用户最大限度地提高生产力，获得高质量的退火效果。该8SD还具有多功能工艺控制器，对温度和工艺条件提供高精度和高度灵活的控制。该8SD还提供了七事件可编程计时器、N型热电偶和操作日志。总体而言，TEL Alpha 8SD是一种独特且具有成本效益的带有附件的扩散炉。该8SD具有精确的温度控制、整室均匀性、耐高温性能以及最大限度地提高退火收率的能力，是半导体工业的宝贵补充。
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