二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SD #293776299 待售

ID: 293776299
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
Furnace, 8" Process: O2 Anneal, dry oxide Wafer shape: SNNF Wafer cassette: Plastic, 8" (150) Product wafers Gas capabilities: N2, O2 TS4000Z System controller (5) Zone heaters Paddle control thermocouple Reserved batch operation Place of control T/C: Between outer tube and inner tube (5) End effectors Maximum temperature: 1100°C No SMIF Interface No N2 Load lock No boat rotation 1997 vintage.
TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SD扩散炉是半导体工业中一种不可思议的可靠和性能驱动的串联生产扩散炉。它为客户提供了一个强大而高效的热处理解决方桉。这种扩散炉将为用户提供比其前代产品更高的吞吐量和吞吐量一致性。它还专门设计用于处理200毫米至6英寸的多个晶圆尺寸,而无需手动调整或停机。TEL Alpha 8SD扩散炉使用先进的热处理技术进行扩散和氧化,最高可达1000 °C。它有一个超紧凑的设计,允许它占用最小数量的空间。这使得它非常适合高密度生产线。多个晶圆大小的处理选项允许用户根据需要轻松扩展吞吐量。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-D扩散炉具有强大的独立分布系统,包括单流动力源。这样可以轻松处理高温和高功率应用,同时保持一致的工艺参数。高性能的向后系统也保证了均匀性,实现了全程精确的热控制。这样可以实现更快的处理时间和更好的结果。该炉还配备了一系列先进的加热元件和冷却选项。直接加热晶片支持和超低热循环允许快速热斜坡速率。先进的冷却选项有助于防止晶片对晶片的污染。此外,高级控制功能确保了过程中的重复性和高精度。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-D扩散炉还配备了一个50步可编程存储器,可存储多达50种不同应用操作的工艺配方。它附带了一个基于Windows的PC专业套件软件,用于流程开发和控制。用户友好的环境允许简单的配方输入和可重复的过程。用户还可以为文档和可追踪性生成流程报告。总之,来自TEL/TOKYO ELECTRON (TEL)的Alpha 8SD扩散炉是半导体工业中一种不可思议的可靠和性能驱动的串联生产扩散炉。它为客户提供了一个强大而高效的热处理解决方桉。该扩散炉将为用户提供更高的吞吐量和吞吐量一致性。这款扩散炉具有一系列先进的加热元件和冷却选项、可编程内存以及基于Windows的PC专业套件软件等附加功能,是高密度生产线的绝佳选择。
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