二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E #293600349 待售
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ID: 293600349
优质的: 2000
Furnace, parts machine
(2) TOSHIBA Induction motors
Motor power supply: 480 V, 60 Hz, 3 Phase
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Cabinet for Alpha 8SE-E是专门设计用于生产半导体器件的扩散炉及配件。它具有先进的温度控制和精确的功率输入能力，以确保晶圆的最佳处理。该设备采用重型不锈钢框架结构，采用厚壁双壁隔热材料，在整个腔室内保持均匀温度。它还配备了优化的催化剂燃烧器控制模块，以确保均匀高效的加热轮廓。该系统包括可编程逻辑控制器（PLC）等多种尖端组件,可精确控制多个参数和自动故障恢复功能。高度可配置的加热室使用户能够为各种半导体应用程序定制设置。该炉还包括先进的安全功能，如紧急传感器，用于检测室内过量温度并相应关闭设备。TEL Cabinet for Alpha 8SE-E采用垂直设计,可实现高吞吐量和高效运行。它还配备了可移动的底部，便于维护和清洁。集成LDF（低扩散通量）技术提供了对扩散过程的全面控制，确保了最佳的基板表面均匀性和清洁度。此外,该机器的设计符合现代晶圆制造工艺以及ESD（静电放电）保护准则。Alpha 8SE-E还具有一个大工作区,可连接多个工具,并且可以从一个中心位置轻松操作。此外,此工具还包括多个接口,用于与外部系统接口,从而在生产过程中提供更大的灵活性。该炉还提供可选的软件包,用于手动或自动操作。最后，用户受益于一个集成的氮气净化工具包，以保护他们的产品免受氧化损伤。总体而言，TOKYO ELECTRON Cabinet for Alpha 8SE-E是一种先进的扩散炉，具有一系列功能，旨在最大限度地提高半导体生产设施的效率、安全性和灵活性。它配备了尖端技术,以确保精确的热量调节、自动故障恢复以及符合现代安全标准。Alpha 8SE-E拥有多种可配置选项,为任何高性能半导体生产环境提供了最佳解决方桉。
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