二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E #293652592 待售

ID: 293652592
优质的: 2002
Furnace 2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-E是一种高端扩散炉,为各种制造和研究过程提供可靠高效的晶体沉积。该扩散炉旨在为各种材料提供高质量的沉积结果,包括硅(Si)和其他半导体材料。它具有两个用于加热、冷却和压力调节的独立腔室。加热室的温度范围高达1000摄氏度,而压力室可以从1到760 torr进行调节。其双腔室设计为半导体沉积和外延提供了高效可靠的设备。TEL Alpha 8SE-E扩散炉装有冷冻室,使低温操作和超过1300摄氏度的高温操作成为可能。它还有一个GSP(气体供应面板)和EMG(电子枪供应)系统,使电子束能够操作,允许精确和最新的半导体处理。为了优化生产过程,炉子装有PMC(过程监控控制器),用户可以在运行时监控和控制设备。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-E扩散炉配备了一系列特种配件.其中一个比较流行的是电子束调谐器EVTX,它具有可调、精确的电子束蚀刻电流控制。与手动技术相比,此调谐器可实现更快、更精确、更少浪费的蚀刻。DVT-21(扩散真空调谐器)-20监测炉内压力,并保持必要的真空水平以进行最佳处理。设计了IF6-21(智能炉机)20,利用各种配方参数自动优化沉积速率。其他附件包括DAT-21(扩散分析工具),该工具配有自动放大器和真空端口,能够精确分析炉内温度和压力。Alpha 8SE-E还与GeoLab软件兼容,该软件允许用户轻松控制和监控参数。此外,该扩散炉还配有石墨加热元件和石英高温计,可精确定位温度。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-E扩散炉是需要晶体沉积或其他材料加工的工业和研究应用的绝佳选择。其高端组件和广泛的附件使此设备非常适合需要严格控制的精密过程。与其他方法相比,它的双室设计和特定的附件可以提供更高的准确性和更快的结果。
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