二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E #293652593 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-E是一种革命性的扩散炉，配有各种各样的配套配件。该扩散炉具有快速、快速的热加热和处理能力，对于高效、高效的沉积过程至关重要。TEL Alpha 8SE-E是一个多功能的晶片加热器和沉积平台，具有旋转运动，允许紧密和均匀的处理温度。利用节能电机和精确的温度控制,TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E可以提供更高精度的结果,并实现更快的通量。Alpha 8SE-E在短短几秒钟内达到高达500 °C的温度，并且可以在整个过程中保持高度精度的温度。通过使用节能电机,TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E能够快速加热和冷却,从而提高生产率和吞吐量。TEL Alpha 8SE-E的设计可提供多种沉积选项,同时仍能提供精确和精确。这是通过使用旋转和线性运动的组合在处理温度内创建均匀性来实现的。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-E是一个集成良好的设备，有一个全自动晶圆清洗站，为更高的成品晶圆产品质量。此外,此系统还包括高效的后处理解决方桉B&H 6000清洁单元。这台机器与所有晶片尺寸兼容，能够以高度的精度和效率对晶片进行整修和抛光。此外，B&H 6000的设计目的是完全修复晶片的背面，消除沉积过程早期阶段产生的任何潜在应力。为了监测各个阶段的过程，Alpha 8SE-E配备了各种传感器和温度控制功能。在沉积过程中,温度传感器位于整个工具中,用于检测一般温度和晶圆温度的变化。通过监测这些变化，资产能够确保沉积过程中整个晶片的温度均匀。此外,还在炉子周围安装了监视器,以创建有效的温度曲线。这样可确保加热器腔室内的温度均匀,从而确保成品晶片表面上的均匀性更高。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-E扩散炉是半导体行业的宝贵资产，在节能平台上提供精确度和统一性。通过使用旋转和线性运动，以及一些伴随的附件，这一模型彻底改变了晶圆的处理和处理方式。