二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E #293821901 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E是专门为先进半导体器件制造而设计的精密晶圆加工技术设备。该系统包含了几个关键的工艺组件，为晶圆制造创建了一个全面的自动化处理解决方桉。该装置的核心是扩散炉，它为半导体器件提供了一系列高精度处理能力。它可以在不同温度下使用，能够制造出热稳定性高、总压力控制严密、源颗粒密度均匀的零件。其烘烤速率和时间可以预先编程以匹配特定的配方，而其温度均匀性保持在7°C ±，以最大程度地减少热梯度对基板的影响。该机还采用冷墙设计，使底壁保持恒定温度，以限制剂量长期氧化的影响。此外，该炉设计良好的预热装置可确保准确的热剖面并保护工艺气体免受预热损坏。TEL Alpha 8SE-E中使用了其他流程组件,以最大限度地提高生产效率并创建自动化的高质量流程结果。高性能自动加载工具可确保快速可靠的基板传输,而自动化过程跟踪资产（ATPS）可监视与每个基板过程配方关联的数据。该型号配有各种配件，包括垂直和侧面晶圆穿梭、烤盘适配器、石英器具支架、气体产生设备和沉积套件工具，这些都是实现最佳性能和可重复性所必需的。此外,该设备的设计基于单层配置,并具有ISO认证的清洁room/ISO-600认证,有助于提高成本效率,同时还允许轻松维护和维修。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-E为用户提供了一个高效、自动化的基于扩散炉的生产顶级半导体器件的工艺系统。其坚固的组件、自动控制单元和附件提供了可靠的设备制造所需的稳定性和多功能性。