二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z #293817396 待售
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ID: 293817396
晶圆大小: 8"
优质的: 2004
Furnace, 8"
Process: D-POLY
L-Type system layout
SUS furnace front surface finish
VMM 40-101 heater
N2 load lock
LC750 O2 analyzer
WAVES main controller
Fujikin integrated gas system
Fujikin manual and air-operated valves
UNIT / UFC 1661 Mass Flow Controllers (MFC)
MKS Pressure Transducer (PT) sensors
MKS Digital Pressure Monitor (DPM)
Gas flow chart and operation panels
RIKEN KEIKI gas detector
Auto wafer aligner
Fork wafer presence sensor
Magnetic seal rotation
No process kit or vacuum pump
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-Z是专门为提供卓越加工性能而设计的扩散炉。它能够为硅光伏电池、基板和其他半导体制造工艺产生最好的热氧化。这种高质量、高成本效益的扩散炉具有几个基本特点，使其适合许多不同的研究和工业应用。TEL ALPHA 8SEZ具有优异的热性能,其最高工作温度可达1150°C,最大加热速率为4°C/秒,可实现快速、高质量的热处理。该炉可在Batch和Continuous两种不同的模式下运行，允许在不同的应用中具有灵活性。分批模式允许更均匀的温度，整个腔室的热梯度最小，而连续模式则允许精确的温度控制，并在需要时快速加热和冷却。先进的设计包括六层硅化钼加热器，能够提供高源均匀的温度分布，在整个腔室内具有高热均匀性。该炉还配有石英管加热器和隔热双壁304不锈钢室，具有优异的耐腐蚀性和高性能。这种独特的设计允许低污染水平,同时还能确保卓越的传热性能。由于它的实时自动化系统从头到尾监控过程条件，它的操作很容易管理。为了进行精确控制,TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE-Z具有数字PID控制环路,可连续监控温度并将控制保持在± 1°的精度范围内。此外,保护性涂层可以防止过程中的氧化,从而获得更好的质量结果。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SEZ还配有多种配件，如观察窗口监视器、大型个体压力控制、旋转样品穿梭机以及各种标本架。所有这些配件使熔炉在特殊研究和工业应用方面更加人性化和高效。这款扩散炉凭借其先进的设计、灵活性、精确的温度控制以及多种附加配件而脱颖而出。TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z是硅光伏电池、基板和其他半导体制造工艺的理想解决方桉。
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