二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z #293820846 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-Z是一种扩散炉及附件，提供先进的氮化物沉积能力和精确的晶圆过程控制。凭借高效的设计和强大的工艺能力，TEL ALPHA 8SEZ非常适合采用III-V复合材料制造的纤薄先进半导体器件。TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE-Z配备了独特而强大的水平型多室设计。这使得高温可达1200 °C,并且由于三区加热的Crucible和Hot Zone设计而具有很高的工艺精度和可重复性,从而有望提高硅和复合半导体器件制造的效率。利用动态温度控制特性进一步提高了高效工艺，提供了更均匀的温度和沉积速率曲线。TEL Alpha 8SE-Z还具有双重预热和装载选项,可确保炉具的高效运行和可靠性。通过利用熔炉的快速预热模式，用户可以减少加工时间，同时确保晶片盒上的最小热应力。该系统还配备了一系列质量监测功能，如粒子测量和气体分析，以及总氮成分探测器和端点监测系统。这确保了用户能够监控工艺参数并获得快速反馈，从而更好地控制氮化物的应用。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE Z还提供了可选的用户友好型图形用户界面，使用户可以方便地管理自己的流程参数，查看数据日志，还可以轻松监控设备状态。该控制器还实现了炉子系统的网络连接,这意味着用户可以远程访问和管理其设备,并轻松监控和排除其流程。总体而言，ALPHA-8SE-Z是一种高效、强大的扩散炉，可提供精确的晶圆工艺控制和最佳的氮化物沉积。通过配备一系列先进的特性、质量监控系统和便捷的网络连接，这台机器有助于提供可靠和高纯度的氮化物沉积，具有更高的准确性和可重复性。