二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z #9186048 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-Z是专门为半导体晶圆加工制造而设计的扩散炉及配件设备。它是一个可以从头到尾处理8英寸（200毫米）晶片的台式独立系统。该装置设计为提供优越的质量传输、均匀的工艺温度和快速的晶圆周转时间。TEL ALPHA 8SEZ装有全铝、低热质量、低热导率的炉膛。这个腔室提供了最大的重复性和严密的温度控制.集成了具有高精度数字流量控制器的双区气体控制机，为炉子作业输送高纯度气体。该工具还具有石英冷墙和可调节喷嘴，用于预热和风机加热。喷嘴是可调的，以适应不同的晶圆尺寸和达到精确的温度控制。TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE-Z专为处理8英寸（200毫米）晶圆而设计，具有最大的重复性和控制性。资产具有烧结、退火、快速热处理、氧化物形成等工艺能力。顶部加载和卸载模型是自动化的，以提供快速晶圆处理与最小的操作干预。工艺室与控制器隔离，工艺堆栈配有双密封，防止环境污染物侵入。TEL Alpha 8SE-Z支持连接主要设备的多个附件和第三方组件的集成。与TEL原位过程光谱监测（PMX）兼容。它还与TIM（热成像模块）兼容,用于可视化样品温度和工艺区域。系统可配置为使用自动执行沉积过程。它还与CVD和PVD系统兼容，以实现掺杂剂添加、掺杂剂氧化、表面氧化等额外的工艺步骤。为确保最佳操作，TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z配备了一套广泛的工艺参数，可以通过触摸屏界面进行编程。过程参数是完全可编辑的，并且该单元与几个统计过程控制系统兼容。该机器运行在软件上，该软件结合了用户友好、现代的界面，具有出色的图形和直观的功能。还结合了工具备份和日志记录,以实现数据安全性和可追踪性。TEL ALPHA 8 SE Z是一种可靠、高效、现代化的扩散炉，具有先进的特性和配件，用于半导体晶圆的加工和制造。它旨在提供高可重复性、均匀的工艺温度和具有竞争力的价格的快速晶圆周转。