二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZANRS #293590975 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZANRS扩散炉及相关配件为在半导体、光电和光伏行业的高端应用提供了一种成本效益高、可靠的原位和异地工艺实施方法。TEL Alpha 8SE-ZANRS是一种通用的高温扩散炉，在高达1000 °C的温度下运行，非常适合进行氧化、氮化、还原、焦耳加热和烧结过程。该炉被封闭在一个宽敞、低压、高真空的室中，该室配有一个改进的石英反射器，该反射器提供均匀的热强度和均匀分布在整个室的内表面。整个腔室还设计了极短的退火循环时间，以尽量减少材料毛刺和污染。此外，由于其强大的温度控制系统和多区加热，TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZANRS可以保持稳定，并能长时间保持正常温度。Alpha 8SE-ZANRS的外壳由重型不锈钢建造而成，旨在防止外部来源的污染。该炉利用一系列附加配件来补充其标准特性，包括控制器和加热元件、防止灯意外损坏的特殊灯罩、用于确定氧化、氮化和还原程度的晶圆检测器以及用于产生必要反应性气体的气体溷合器。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZANRS的技术特点包括最大载荷能力9公斤的载荷锁、15厘米腔深的石英船和0.02毫升/分钟至10毫升/分钟流量的气室。它还有一个多区加热系统，可调范围为0-100%，最多8个区，而高频电源（300-400 kHz）则内置在灯壳内，用于快速加热。总之，TEL Alpha 8SE-ZANRS扩散炉及相关配件为高端半导体、光电和光伏应用提供了可靠、经济高效的解决方桉。这款高温炉结构坚固、安全特性多样、温度范围可调、退火周期长，非常适合生产保质期长的优质产品。