二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZANRS #293590992 待售

TEL Alpha 8 SE-ZANRS是为高温半导体加工而设计的扩散炉及配件。Alpha 8 SE-ZANRS由炉室、热循环控制单元和加热元件组成。它能够承受高达2000摄氏度的温度，使其适合各种材料，包括铝、铜、钨和硅。Alpha 8 SE-ZANRS具有多种真空控制系统，包括快速疏散系统、三维扫描真空控制系统和热墙拖车。这些特性使得Alpha 8 SE-ZANRS成为生产IC、LED和其他半导体器件的理想器件。它能够处理8英寸乘8英寸的基材尺寸。为了有效运行，Alpha 8 SE-ZANRS配备了气体输送系统，允许精确控制气体成分和流量。该装置包括三个独立的气体出口，每个出口都有自己的流量控制端口。气体从加热元件泵送到基板，控制热循环。一个exter