二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZVANS #293590988 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZVANS是为半导体制造而设计的扩散炉及配件设备。它具有亚微米模式和导电金属沉积的能力。该系统具有隔热室和可调节的进气口和排气口。它的大腔室尺寸和高效的温度控制可以满足极高的细节过程,如3D结构,双级金属化,以及高长宽比的氛围。该单元可以加工直径达8英寸的晶片。此外,其强大的数控运动机提供了精确控制扩散过程所有方面的能力。TEL Alpha 8SE-ZVANS扩散炉提供超高温精度和可靠性。其自动化计算机控制工具(CCS)可以在整个扩散过程中精确维护和监控温度、压力和其他参数。它使用先进的隔热材料来维持整个腔室的稳定温度。特殊的温度控制资产和可编程阀门能够准确控制沉积、退火和掺杂。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZVANS扩散炉带有一个全自动转移模型,以移动和降低负载到炉。它是为人体工程学和安全卸载而设计的,用于半导体器件的高通量。此外,它还配备了集成的硅片监测设备,以确保晶片不受污染。Alpha 8SE-ZVANS扩散炉还包含一个锁存器系统,能够快速高效地装卸晶片。它还提供了可调的背压,以在整个扩散过程中保持一致的腔室条件。而且,它还集成了冷却风扇,用于整个机组的快速冷却。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZVANS扩散炉及附件机的设计具有强大可靠的性能。它具有大的腔室尺寸、可调的温度和压力条件以及温度均匀性,是先进半导体器件扩散的理想选择。
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