二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZVANS #293590991 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZVANS是一种高度先进可靠的扩散炉设备，配有多种配件，以提高性能和可靠性。该系统采用先进的晶圆传递机器人，具有优异的均匀性和失真控制性能，是先进晶圆工艺的最佳解决方桉之一。TEL Alpha 8SE-ZVANS采用水平配置的α-辐射扩散炉，具有卓越的均匀性和准确性。每个晶片的温度分布均匀，中心温度为1,200摄氏度，200毫米范围内的温度均匀度± 2 °C。另外，TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZVANS的温度均匀性可以由其先进的控制单元自动调节。该机还有一个内置氧化物气体发生器（BOGG），可以提高氧化物沉积过程的重复性和准确性。BOGG的低压等离子体源能够精确控制氧化参数，使其成为提高溶胶-凝胶和CVD氧化物质量的宝贵资产。Alpha 8SE-ZVANS还具有热板和快速加热/冷却板，在加工硅基板时允许更高的均匀性。除了工业领先的扩散炉外，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZVANS还提供各种量身定制的配件，以改进工具的操作。它配备了几种提供卓越资产控制的晶圆处理设备，如用于精确晶圆定位的交流滚子臂、用于自动插入的晶圆装载机，以及用于一次处理多达八个晶圆的ECF-Front机器人。最后，该模型还配备了改进硬件设备监控的最先进的软件解决方桉。这些解决方桉包括AioSoft DB Suite和Aptio Analyze System,它们提供实时分析和有洞察力的晶圆信息,如温度控制、均匀性和整体性能参数。总体而言，TEL Alpha 8SE-ZVANS是非常高效、可靠、精确的扩散炉单元，具有所有必要的特性和功能集成配件，以确保卓越的性能。TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZVANS凭借其优越的温度均匀性、先进的气体发生器、热板等独特配件，是先进晶圆工艺的理想解决方桉。