二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ZVS #190711 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE ZVS是专门为先进半导体应用而设计的最先进的扩散炉及配件。该设备将高效操作与高集成低k电介质膜处理技术相结合。凭借其专利的ZVS技术,TEL Alpha 8SE ZVS可以提供高温均匀性和极致的产品质量。该系统还有一个专利的负载锁定机制，允许更高的生产产量和安全操作。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZVS配备了高温分离器Doortm以及可调节顶部加热器，以最大程度地控制基板的传输方向和加热过程。这保证了高温均匀性是在处理高度集成的低k电介质膜时实现的。该炉还装有垂直冷却带单元，以确保工艺室的均匀快速冷却。另外，该炉还有一个综合安全快门，可以防止基板的辐照。该机与多种预设工艺配方兼容，可与包括氮气、APCVD/等离子体、氧气、H2O等多种源气体配合使用。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZVS还包括一个先进的过程控制单元，使用户能够方便地监控和控制处理环境的参数。该工具还与各种精密传感器兼容，以确保对处理气氛的精确控制。除了TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE ZVS之外，还有多种可选配件可供选择，以适应电线键合、MEMS和其他先进半导体应用等多种工艺。这些附件包括用于精确、自动控制工艺大气的空气管理资产、用于精确定位源基板的源基板振荡臂以及用于安全处理扩散过程中所需所有气体的气体供应模型。ALPHA 8SE-ZVS是一种高度可靠的设备,可在任何连续或批量处理环境中可靠地、可重现地运行。其先进技术提供了高水平的温度均匀性和过程控制，最终形成了优越的最终产品。TEL ALPHA 8SE-ZVS价格合理,设施齐全,安全性强,是先进半导体应用的理想选择。