二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #122705 待售

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ID: 122705
晶圆大小: 8"
优质的: 2007
Thermal process furnace, 8" Flat type wafer Signal tower: (4) color I/O type Rapid cooling unit Capacity: (125) wafers per batch Controller Waves V3.23 R001 (D01FFF-000F) (2) HDD: 4.3 GB TEB 408 HDMC Rev 2.0B SVA 041 TEB 107 ECS5 DVE P750/51-TR TEB 103 FPIF Temperature controller: 560A Pressure controller: CKD WVG controller: WVG-SC-010Y1B2B Vacuum pump: Ebara A150W-T 2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是一种扩散炉和附件,旨在促进先进的热过程,并具有固结的工艺室和运输能力。其设计支持一系列应用,包括Power-MOS、专用电源设备、BiCMOS以及高温封装。TEL ALPHA-8SE因其真空晶片传输设备而在扩散炉中脱颖而出,该设备允许晶片从层流隔离室转移到扩散炉的工艺室中。这确保了扩散过程中最大的清洁和环境控制。转移系统也使得操纵晶片更容易,而不必打开门或暴露于可能的污染。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE还具有高性能和多功能数字过程控制器。该控制器可以精确控制扩散室中的温度和压力,并对复杂的过程进行编程。控制器可以以不同的速率扫描温度和压力,允许设置各种工艺参数,从基本参数到最复杂参数。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE具有独特的低压反应气体输送功能,确保气体反应物安全准确地输送。这也确保扩散过程保持非常狭窄和均匀的轮廓,并且反应物在高压下不会在样品表面部分扩散。这使得TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E先进热处理的理想仪器。ALPHA-8 SE也喜欢集成控制单元。这台机器允许用户编程复杂的过程以及预设的温度和压力配置文件。此外,这一综合控制工具还负责样品监测、气体监测、安全监测以及炉具的预防性维护和保养。这保证了TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E扩散炉的最大效率和可靠性。由于它的设计和建造,阿尔法8SE扩散炉有能力以最小的污染进行热过程,并在高水平的重复性和可靠性。这使得它成为高级热工艺和研究的理想选择。此外,TEL ALPHA 8 SE将高精度温度控制、高压反应气体输送、灵活集成等特点与各种工艺工具独树一帜。
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