二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #122707 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是一种先进的热和化学加工设备，用于多种材料的多种行业。它是处理精密、精确度和可靠性最高的薄膜的最先进、最先进的系统之一。TEL ALPHA-8SE是一种扩散炉，设计用于提供使用晶圆级批处理工艺的多个基板的均匀处理。该系统还由其他几个组件组成，这些组件为极其灵活和精确的薄膜沉积和等离子体蚀刻提供了多种选择。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE扩散炉配有一个半导体加工室，该室配有红外传感器（IRS），可以检测室内温度变化。它配有许多不同的辅助配件，如S-FOC自动除膜装置、高效的颗粒沉积机和射频压板。此外，这个工具还有额外的配方，可以保存，以便于编程和可重复的过程。高效、低温沉积的资产允许更快、均匀的薄膜沉积。射频压板允许对大面积基板进行光滑、均匀的加工。TEL ALPHA 8 SE扩散炉利用动态气体入口控制，有助于提高腔室的均匀性，减少加工时间。先进的控制技术确保了无论晶片类型和基材尺寸如何的一致处理。该型号还为晶片级批处理提供了出色的吞吐量，最多支持8个晶片，非常适合工业用途。除了扩散炉外，ALPHA 8 S E还包括多种配件，如两个远程风扇供电的基座机器人、一个可编程石英管沉积模块、一个等离子体蚀刻模块，以及多种其他工具和设备。这两个远程风扇供电的基座机器人有助于方便晶片加载,并提供无与伦比的传输可靠性和过程可重复性。可编程石英管模块提供复杂材料和自由形状剖面的均匀沉积。最后，等离子体蚀刻模块有助于去除不需要的材料，提高工艺质量和均匀性。TEL ALPHA-8 SE扩散炉及其附属配件提供了极其灵活、精确的薄膜沉积和等离子体蚀刻设备,可帮助各行业获得更高效的工艺和更高质量的产品。该系统极其可靠，提供高精度处理，精度最高。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE能够提供的可靠性、灵活性和准确性，使其成为热和化学加工的最佳系统之一。