二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #141287 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是专门为先进半导体、MEMS和光伏应用而设计的扩散炉、配件和材料。它具有独特的设计,具有全前双插槽插槽加载室,可同时在高达1,200摄氏度的温度下处理两个200毫米、150毫米或100毫米晶圆,从而实现高容量处理。扩散炉还具有RF自动提升功能，减少了不必要的腔室装卸时间，允许更平稳的运行和更高的吞吐量。此外，它还提供了一个可选的自动传输臂和视觉系统，允许用户为他们的扩散过程增加额外的自动化。TEL ALPHA-8SE配备了直观的人机接口（HMI）等先进技术，以及对炉子提供即时反馈和控制的先进嵌入式控制器。HMI提供了一个干净和简单的UI,并可直接访问控制和管理炉膛运行所需的信息,如炉膛温度和压力读数。此外，嵌入式控制器还自动调整炉子的工艺参数，以实现最佳实时性能。这种先进的控制技术使得动态适应、优化和对工艺室的不断改进成为现实。此外，TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE还包括一个先进的附件包，其中包括石英型加热器管、气体净化和分配系统、温度传感器以及梯形石英盒式磁带，用于双插槽装载，用于多功能可靠的熔炉。该套件的附加功能包括提供改进温度均匀性的重型石英加热器、水冷四出口燃气箱、自动化气体输送系统以及PASS联锁系统和蒸发器保护等先进安全功能。总体而言,ALPHA 8 S E扩散炉提供了一系列晶圆尺寸和应用的革命性性能和先进功能,使其成为满足先进半导体、MEMS和光伏应用的挑战性要求的理想选择。