二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #144248 待售
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ID: 144248
LPCVD LP-BSG TEOS furnace, 8"
Flat / notch type: Notch
Signal tower: 3 color (RYG)
SMIF or I/O type: I/O type
AGV compatibility: Not use
Rapid cooling unit: Not use
Load lock system: Not use
Production wafer quantity: 150
Controller and software:
HD version: WAVES V3.11 R0008
HDD capacity: 4.3 GB
TEB 408-11 HDMC
SVA 031
TEB 107 ECS5
M/C TEB 205
TEB 103 FPIF
Configuration: Alpha-8SE
Power: (phase, voltage, frequency)
Heater power: 3 phase, 50/60 Hz 440V
Controller power: 1 phase, 50/60 Hz 100V
Pump power: 3 phase, 50/60 Hz 440V
MFC flow:
MFC1: STEC N2, 20 SLM
MFC2: STEC N2, 200 SCCM
MFC3: STEC TEOS, 300 SCCM
MFC4: STEC N2, 5 SLM
MFC5: SAM CLF3, 5 SLM
MFC6: STEC TMB, 300 SCCM
Heater model: VMM 40-101
Vacuum control: EBARA 150x40UERP6M-D
Controller specifications:
Main controller: WAVES
Temperature controller: Model 560A
Pressure controller: PCU1000 (PCV control)
Mecha controller: T-Bawl
Burn controller: None
MFC controller: None
Powered off
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是一种先进的扩散炉和辅助设备，设计用于提供高质量的半导体制造。该系统由石英室、晶圆船、钟形罐和将晶圆船置于腔内的耐热自动提升组件组成。其石英室设计提供紧密耦合的热能均匀性，而钟形罐则允许超清洁的工作条件。自动提升组件可确保方便地进入石英室内的晶片船，并以最小的应力精确定位。TEL ALPHA-8SE炉还采用了先进的高耐用、厚膜加热器。该加热器可提供高达500瓦的功率和高达150瓦/平方厘米的退火能量。它还提供从25°C到1200°C的宽温度范围。通过其内置温度控制单元实现了对热的精确控制，其石墨敏感器确保了精确的均匀性。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE还配备了出色的环境控制能力。它与一系列环境空气、干燥空气和其他气体的工艺兼容，并具有无过滤器设计，以改善环境要求。此外，它拥有高纯度的墙面和屋顶，低压选项，以及其他先进的BPSG和化学气相沉积能力。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE也带有广泛的操作特性。这包括一个集成了直观操纵杆控制的电气驱动机器，一个车载主可编程逻辑控制，以及一个触摸屏数据输入工具。此外，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E具有先进的能效资产、独立的温度斜坡模型和增强的配方库。总体而言，TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE扩散炉及附件设备的设计旨在提供半导体器件的高质量制造，同时允许制造商保持高能效和环境兼容性。它的一系列特点和操作能力确保了精确的控制和优异的性能,并减少了化学废物和操作成本。
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