二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #168532 待售
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ID: 168532
LPCVD furnace, 8"
Wafer size: 8"
Flat / notch type: Flat
Signal tower: 3 color (RYG)
SMIF or I/O type: I/O type
AGV compatibility: Not use
Rapid cooling unit: Not use
Load lock system: Use
Production wafer quantity: 150
Controller and software:
HD version: V3.11
HDD capacity: Waves V3.11 R0000
TEB 408-11 HDMC
SVA 011
TEB 107 ECS5
M/C TEB 205
TEB 103 FPIF
Power: (phase, voltage, frequency)
Heater power: 3 phase, 208V, 35.6 Kva
Controller power: 1 phase, 208V, 5.5 Kva
MFC flow:
MFC1: AREA TC FC D986Y-BF, N2 20 SLM
MFC1: AREA TC FC D986Y-BF, N2 10 SLM
MFC1: AREA TC FC D986Y-BF, N2 10 SLM
MFC1: AREA TC FC D985Y-BF, SiH4 100 SCCM
MFC1: AREA TC FC D986Y-BF, N2O 5 SLM
MFM1: AREA TC FM 865Y, SiH4 100 SCCM
Heater model: VMM 40-101
Vacuum controls:
APC (CKD) control: VEC-S8-X0201
Controller specifications:
Main controller: WAVES
Temperature controller: Alpha 8SE-C
Pressure controller: None
Mecha controller: None
Burn controller: None
MFC controller: None.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是一种多用途高频扩散炉，用于半导体加工和其他制造技术。它有一个内部石英管，具有精确的温度控制和均匀的加热，可以精确控制加工参数。石英管被充满氮的气体屏蔽所包围，提供惰性气氛和优越的隔热。炉子配有精确的频率控制设备，专门设计用于提供精确的温度控制。该系统不需要频繁的手动调整，允许重复加热时间和稳态条件。该装置还具有功率比控制机，为均匀的散热提供高速、精确的温度控制。TEL ALPHA-8SE配备了样品装载工具和集成装卸站。它允许最多八个晶片或基板在任何一个时间都可以近距离加载。此外,样品加载资产的设计确保了在加载、卸载和处理过程中保持制造光机械对准。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE也提供了对扩散循环的高度控制。它提供对温度斜坡、时间密度剖面和循环端点检测的精确控制。对于高负载应用，它配备了快速回收模型，提供加热器的开/关调制，以限制循环对循环的变化。ALPHA 8S-E的自动化功能提供了易于使用的图形用户界面，带有一套流程监控工具。该设备还可监控多达1200个工艺参数,从而实现高级工艺控制和制造工艺的完整可追踪性。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE还提供了几种先进的配件，例如用于氮气净化的电动快门和用于惰性气体洗涤/分离的干式气体过滤器。ALPHA 8 SE扩散系统还提供符合SEMI S8和ISO14644-1标准的先进废水减排装置。这样可以确保排放的空气保持在安全和符合环境要求的水平。该炉还设计为坚固、可靠、高效，有一系列选项可以满足客户的要求。
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