二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9065751 待售
看起来这件物品已经卖了。检查下面的类似产品或与我们联系,我们经验丰富的团队将为您找到它。
单击可缩放
已售出
ID: 9065751
晶圆大小: 8"
Doped poly furnace, 8"
System layout type
System hand LL
Side maintenance no
System paint color white
Furnace front surface finish SUS polished #600
Process pressure 500 mTorr
Process temperature 620C
Mid temp VMM-40-101, 5 zone
NGK SH-302
Non SMIF
Process gases
Process gas 1 Pure N2
Process gas 2 SiH4
Process gas 3 5% PH3/N2
Process gas 4 0.5% PH3/N2
(4) Heater chambers
CE Marked
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是专门为产生精确数量的硅和其他半导体材料而设计的扩散炉。这种8室炉在每个室中都具有独立的温度和气体控制功能,从而可以精确控制高品位半导体材料的气流和批量生产。每个腔室的额定功率是600W的,可以支撑高达1150 °C的温度。TEL ALPHA-8SE附带了许多附件,用户可以根据自己的需要定制设置。这包括一个石英管,隔离环和网状输送机,以支持各种晶圆尺寸。此外,TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE还具有PC控制的PID温度和气体控制设备,可轻松监控和精确调整温度。其他功能包括温度均匀性优于± 1°C,以及与使用以太网协议的外围设备的通信功能。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E还包括它自己的真空泵,以确保您的工艺达到适当的真空水平。该真空系统由单级微分子泵、真空计和用于增加泵送功率的真空助推器组成。这种真空泵的抽水速度为100升/分钟,能够迅速撤离机组。除了基本功能外,TOKYO ELECTRON Alpha 8SE还能够提供许多专用功能来改善用户体验。例如,它有一个高级配方控制器,允许您存储最多20种不同的配方,您只需单击即可调用这些配方。它还拥有一台有助于减少停机时间的自动清洁机和一个有助于节约能源的能源监控工具。总体而言,TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE是任何需要精确控制半导体材料温度和气流的人的绝佳选择。凭借其强大的输出和创新的特点,这也难怪为什么这种扩散炉配件套如此流行。
还没有评论