二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9073199 待售
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已售出
ID: 9073199
晶圆大小: 8"
优质的: 2002
Doped poly furnace, 8"
System Hand LL
Side Maintenance: No
System Paint Color: White
Furnace Front Surface Finish: Stainless Steel
Process Pressure: 500 mTorr
Process Temperature: 800ºC
FTP Heater: Installed
Rapid Cooling Unit: Installed
Heater Type: FTP VOS-40-017 (RT)-1000C
N2 Purge System: Installed
02 Densimeter Model: Toray LC750
SMIF: Not Installed
SMIF POD (maker/model): N/A
SMIF OEM Probe (maker/model): N/A
AGV Compatibility: Installed
Process Gases:
Process Gas 1 Pure N2
Process Gas 2 NH3
Process Gas 3 SiH2Cl2 (DCS)
Process Gas 4 N2O
Process Gas 5 SiH4
Process Gas 6 NH3
Process Gas 7 PH3 5%/He
Process Gas 8 SiCl4
Process Gas 9 H2
CE Marked
2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是一种用于生产先进产品和材料的扩散炉及配件。该设备主要用于制造基于硅的半导体器件，如集成电路、晶体管和其他现代元件。TEL ALPHA-8SE扩散炉有助于形成这些部件的复杂细节和副产品,从而提高生产效率和成本效益。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE扩散炉是一种功能广泛的单晶圆炉。它具有一组检测和测量所包含的晶圆腔内温度的高温计，提供实时调整，以确保产品质量一致。该系统还有一个最新的绝缘单元和高温电阻率，让炉子安全地达到高达1400摄氏度的温度。通过安装化学冷却机进一步增强了这一功能，使用户在设备制造过程中获得了更多的控制和精度。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E还具有集成的触摸屏界面，允许用户监控炉内晶圆和材料加热过程。它可以针对任何特定环境进行编程,并且可以适应不同的设施要求。作为其安全措施的一部分，该工具有一个压力阀，防止过大的压力积聚。此外，TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E还配有大量的附件组件，这些组件可以并入炉子公司的制造过程中，从而扩大了设备能做什么的可能性。TEL ALPHA 8S-E扩散炉是一种可靠高效的资产，符合并超过现代生产标准。它的高级功能为用户提供了制造产品所需的精确度和细节。此外,它还具有更高的成本效益和更容易管理材料生产的优点。这种灵活性和多功能性使得TOKYO ELECTRON ALpha 8SE许多工业设施的理想选择。
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