二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9093709 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是一种单晶圆扩散炉，专为寻求采用水平单晶圆技术的经济高效热处理解决方桉的晶圆而设计。该设备具有晶圆拓扑的专利创新、保持温度均匀性的垂直加热室以及一系列工艺气体能力。TEL ALPHA-8SE是利用高温气体在水平晶片装置中氧化或还原晶片的扩散炉。它包括一个垂直加热室，内部加热板可以达到高达1400°C的温度，整个表面均匀度± 2°C。该系统的热容量和均匀的温度控制，使得热处理控制非常出色，处理时间从几秒钟到几个小时不等。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE还实现了最新的工艺气体技术，支持使用Ar、H2、N2、N2O、O2等气体。该单元包括一台多步气体控制机，允许用户精确控制各气体成分的气流和溷合比。它还支持多达8个提取阀，允许用户定制自己的扩散配方。为了获得更多的灵活性，TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE还具有广泛的附件，包括额外的晶圆支架、晶圆处理元件、CVD背面冷却工具以及有保证的加工温度监测器。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E也有电脑控制的配套设施，用于维护、操作过程、热检和测量。ALPHA 8 SE是半导体制造商的高效、经济高效的扩散解决方桉。其灵活可靠的设计可用于处理各种半导体应用，并增加精度和可定制的工艺配方。先进的气体控制资产和多种工艺气体功能等功能有助于确保热处理成功,同时实现一致的批对批小型化。