二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9192195 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是一种扩散炉和附件，用于将金属和其他化合物沉积到半导体上。该扩散炉基于垂直反应堆管设计，由一个入口和两个出口端口组成，使材料能够进出反应室。TEL ALPHA-8SE为用户提供了高温和超纯沉积环境,并提供了存放均质或非均质薄膜的灵活性。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE具有先进的加热设备,能够达到300°C和1,000°C的温度。该炉由两个微调的石墨衬里加热室组成，每个加热室由独立的PID控制，用于精确的温度管理。两个加热室同时工作，在沉积过程中实现了极好的均匀性。ALPHA 8S-E也有能力配备额外的用于温度倾斜的四向隔离阀。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE炉提供了一系列有助于确保沉积材料的完整性和均匀性的先进技术。扩散室采用独立的压力控制系统、模块化设计和惰性气体注入装置，以确保基板零接触污染。此外，该炉采用先进的传感器和电子束探测器，以确保一致准确的数据读数。TEL Alpha 8SE包括针对各种应用进行优化的一系列附件和模块。例如，炉子可以配备一个输送机，该输送机以受控的线性方式通过腔室操作基板。该炉还提供了多种安全功能，如防火机、ESD防护、紫外线防护等，以防突发事件发生。TEL ALPHA-8 SE是一个理想的扩散炉对于那些寻求一个先进的，大规模的热沉积工具，能够达到精确的沉积结果。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA的高度精确的温度管理,加上一系列安全功能和其他旨在防止污染的功能,使TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E那些行业需要可靠、长期性能的用户的绝佳选择。