二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9216087 待售
看起来这件物品已经卖了。检查下面的类似产品或与我们联系,我们经验丰富的团队将为您找到它。
单击可缩放
已售出
ID: 9216087
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
PIQ System, 8"
General:
Heater type: VMM-40-101
SMIF / IO: Open cassette type
Process gasses:
Gas 1: MFC1 - N2 (20SLM)
Gas 2: MFC2 - N2 (30SLM)
Gas 3: MFC3 - N2 (3SLM)
Gas 4: MFC4 - O2 (10SLM)
Gas 5: MFC5 - SiH4 (200SCCM)
Gas 6: MFC6 - SiH4 (200SCCM)
Gas distribution system:
Basic style: Conventional gas system
Tubing material: Stainless steel
Tubing finish: Elctro-polished
Manual valve: FUJIKIN
Air operated valve: FUJIKIN
MFC: AERA
Wafer / Cassette handling
Wafer type: 200mm SEMI STD-Notch
(5) Fork types / Materials
Fork variable pitch
Cassette:
Type: Entergris / XT200-01E
(25) Wafers
(21) Storage cassettes
Boat / Pedestal:
(150) Production wafers
Boat rotation
System controls:
TS-4000Z
Signal tower colors: G/R/A
General pressure display: Mpa
Cabinet exhaust display: Kpa
Furnace temperature controller: M121
Host communications:
Host computer
Host computer I/F: SECS I/II (RS232)
Information transfer protocol: GEM
Equipment host I/F connection: U / Box top
Group controller: JGA
Power:
Heater: 208 V, 3 Phase, 31.6 KVA
Voltage: 208 V, 1 Phase: 2.3 KVA
Pump: 208 V, 3 phase: 12.4 KVA
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是专门为半导体制造工艺设计的单晶圆高温扩散炉及配件。TEL ALPHA-8SE是一种全自动生产炉，旨在满足现代半导体制造商的苛刻要求。它具有八个区域的控制，能够在每个区域进行精确的温度和大气控制，并在整个过程中确保均匀的温度。八个区域中的每一个都配备了可单独调节的加热器功率，以容纳不同尺寸的工件。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE的热区温度可以提升到1250°C，使其能够容纳更多的高温扩散过程。ALPHA 8 SE还配备了热电偶位置传感器技术，允许精确的温度控制。传感器监视每个工件的温度,以确保温度分布均匀。这种最先进的技术有助于在扩散过程中提供卓越的性能和可靠性。为了最大程度的安全和方便，ALPHA 8 S E设有一个内部压力监测仪，可以对过程大气压力进行连续监测。TEL ALPHA 8 S E还具有自动气流控制功能，以实现可调节的过程大气流量，确保温度分布均匀。此外,TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E还提供远程过程监控、复杂的互锁系统、过温保护和用户友好的过程程序数据输入。ALPHA 8S-E与广泛的半导体级特种气体兼容，并具有自动气线清洗冲洗能力。由于其密封的外壳、改进的气流系统以及自动的冷凝物去除，也很容易维护。利用Alpha 8SE,半导体制造商能够生产出精确可靠的晶片.对于需要精确温度和大气控制的半导体工艺来说，这是一个持久、可靠、高效的选择。
还没有评论