二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9223519 待售
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ID: 9223519
晶圆大小: 8"
优质的: 2008
Vertical LPCVD furnace, 8"
High temperature oxidation
ASYST Indexer in built
Handler system: TEL Robot
Utility box
Transformer
UPS
CIM Linked
2008 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是专门为半导体器件制造而设计的扩散炉及配件。该设备利用先进技术,以高效和精确的方式将掺杂物质加热和均匀扩散到基质中。TEL ALPHA-8SE是一种由PC控制的系统,它能够根据正在制造的半导体器件的类型来适应各种需求。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE具有一个高效率的腔室,负载能力高达4千克,允许一次处理更大批次的晶圆。该设备高度自动化,具有TEL专用Tornado™-Auto Set温度控制机,可让用户节省常用配方和周期时间,从而显着提高流程效率和准确性。使用Tornado™-Auto Set温度控制工具,用户可以轻松获得准确的温度剖面和快速的热循环,这对于可靠的设备制造至关重要。ALPHA 8 S E还包括晶体烤箱与外部晶体烤箱连接的先进功能,以及TOKYO ELECTRON专属多气体注入资产(MGIS)。MGIS允许向腔室中精确注入多个活性气体,以提高掺杂精度。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E具有从室温到1000摄氏度的广泛温度范围。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E的设计考虑到安全性,具有警报和联锁功能,在发生故障时立即关闭电源和供气阀。这些功能确保操作员和设备的安全,并帮助保护设备免受任何不当操作或不当使用。ALPHA-8SE采用模块化设计,易于安装和维护。它还具有人性化的UI,用途极为广泛。利用TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E的先进技术,它是制造各种半导体器件的理想模型。
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