二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9233746 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是为先进研发而设计的先进扩散炉及配件。设有八条独立供热制冷区的独立自主通道，非常适合大型研发实验室的批量工艺。TEL ALPHA-8SE具有高级控制器,可以精确控制每个区域并方便设置和可重复的结果。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE的主室由不锈钢製成，允许最多8个8英寸的晶圆装卸。该腔室具有集成的绝缘材料，以确保基板的加热和冷却均匀。晶片装载机和卸载机均配有真空夹紧装置，便于操作，并提供额外的安全级别。Alpha 8SE能够保持最高1200 °C的最高温度达2小时,并指定用于高温处理。这种高温能力是由先进的流化床热源驱动的，该热源高效，能够极其快速地加热和冷却。热源还使用石墨衬里，使其能够抵抗在加工过程中可以注入的腐蚀性气体。ALPHA 8 S E拥有先进的过程控制系统，利用整个腔室的实时温度和压力传感器，并使用预测算法来确保最高的过程精度。它配备了一个七英寸的触摸屏用户界面，可以让操作员控制整个过程。另外，TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE兼容多种第三方应用，可以与过程控制系统集成。TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE还配有多种配件，包括气体面板和疏散面板，设计用于提供完整可靠的扩散炉系统。它还与各种工艺容器兼容，以实现快速的坡道速率和过程的充分灵活性。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE是一个全自动系统，并带有内置的安全传感器和协议，以确保用户在操作过程中的安全。TEL ALPHA 8S-E是大型研发实验室的优秀扩散炉。其坚固可靠的设计、先进的控制器和配件，使其成为批处理和先进研发的理想选择。