二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9237580 待售

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ID: 9237580
晶圆大小: 4"
优质的: 1999
Vertical furnace, 4" Process: CAP-SIN Layout type: U/Box type LL Hand Heater type: VOS-40-017 FTP Rapid cooling unit TORAY LC-750 N2 Purge system O2 Densimeter Pressure control: CKD SMIF Not installed (I/O Type) Wafer transfer: 1+4 Pitch change (21) Cassette stockers (100) Process wafers Power supply: 208VAC / 208VAC, 1-Ph / 3-Ph 1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是一种工业扩散炉,专为先进的半导体器件制造工艺而设计。配备精密温度、压力、流量控制器,提供高速、高精度能力。TEL ALPHA-8SE设计具有超低热漂移和卓越的保护功能,可确保设备制造过程中的安全性和可靠性。该型号采用8区圆柱形加热轨道,提供广域加热,允许在整个加热区域内均等加热。此外,它还具有可调节的温度剖面控制功能,允许精确修改加热剖面以适合正在加工的材料。其大型的检修门、优化的通风口和气流设计也有助于确保扩散过程的安全性和效率。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE还具有多步遥控器,允许从多个点定制控制扩散过程。它还包括一系列自动化物料转移系统,以确保物料的顺利和高效装卸。其低振动特性通过提供动态空气轴承、微振动传感器和主动振动控制,进一步简化了过程。这样可以减少扩散过程中零件的应力并减少污染。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE是为了与一系列附件和消耗品兼容而设计的。其中包括专门的样品架、石英管和适配器,以及自动充电系统、气瓶和高纯度消耗品配件。这允许用户定制其扩散过程以确保最佳结果。总体而言,TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE是一种先进的高性能扩散炉及配件,非常适合半导体器件制造。其先进的温度、压力和流量控制器、低振动特性以及一系列自动化物料传输系统,确保了设备制造过程的安全性、可靠性和准确性。
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