二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9253985 待售
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ID: 9253985
晶圆大小: 8"
Vertical furnace, 8"
Process: Nitride
WAVES Display for PDU unit
Furnace:
WAVES 3.11 Controller
CKD Pressure controller
M560 Temp controller
VMM-40-101 Heater
(5) Control zones
IGS Gas pattern panel
PDU Unit
R-Axis
NOMARL ETC
AERA MFC
MKS Baratron Pressure controller:
MKS Baratron Sensor BS1
MKS Baratron Sensor BS2
N.C Pressure gauge
N.C Pressure gauge controller
CKD Pressure control
N.C Main valve
Loading system:
Transfer fork: 4+1
(21) Upper stages
(2) Transfer stages
Flat zone aligner
Wafer counter sensor
Power supply:
Heater power: 440 V
Control power: 208 V.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是一种半导体器件扩散炉及配件，旨在为链接器件提供生产解决方桉。TEL ALPHA-8SE是一种非常耐用且用途广泛的熔炉,能够执行各种复杂的制造和组装过程。因此，它可用于各种工业应用，最突出的是半导体元件和器件装配行业。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE的特点是一个不锈钢室与陶瓷衬里，允许精确的温度控制与均匀性和可重复性。这有助于消除温度敏感元件的精确制造和制造过程中的温度变化。ALPHA-8 SE的温度范围为200 °C至1,000 °C，设计用于精确的温度控制和精确的氧化控制。该炉还具有极好的内部均匀性，在整个炉膛内提供一致的温度。这是通过圆形淋浴头设计和精确的气体通量来实现的。在ALPHA-8SE内部，精确的12区气体系统通过适当溷合气体，确保所有过程的均匀性和可重复性。这个熔炉有许多与半导体元件组装相关的过程.ALPHA 8 S E可以用于退火过程，氧化和还原，以及蚀刻和掺杂扩散过程。它还支持低压化学气相沉积（CVD）、氧气扩散、氧化硫和氮氧化物以及湿蚀、热氧化和氮化等过程。TEL ALPHA 8S-E使用其专有的过程控制软件运行,允许对各种参数进行精确一致的控制。此程序允许使用允许操作员在一个周期内执行最多四个进程的专家模式轻松设置和调整所有进程参数和控制值。TEL ALPHA 8 SE是一种用于制造和装配半导体元件的直观、高效的扩散炉。凭借其精确的温度均匀性、可重复性和多样的工艺能力，这种炉有助于确保链接设备的快速准确生产。
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