二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9260381 待售

ID: 9260381
晶圆大小: 6"
优质的: 2016
Furnace, 6" Process: HTO / TEOS Deep bay layout I-Type furnace and UP/box Furnace cabinets and Ultra-clean air flow system Scavenger and water cooling unit Main controller (WAVES) Cassette and wafer handling automation: Boat elevator Wafer counter SiC Wafer flat alignment, 6" (On I/O port) Cassette storage: 21 Gas system for DCS: HTO / TEOS Process Exhaust configuration: LP-CVD DCS-HTO, TEOS Mid temperature heater: 8" Heating element N2 Load lock system Maintenance jig UPS Ingenuity connection 2016 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE扩散炉是用于制造和控制半导体材料和器件的最先进的半导体制造设备。该炉设计用于各种关键和高变化扩散过程,需要精确控制温度和大气。这种先进的设备是实验和生产半导体元件的理想之选,因为它能够统一处理不同大小和形状的晶片,并且具有优异的可重复性。该炉采用一对密封不锈钢室建造,每个室都有自己独立控制的温度和大气。这允许在同一过程中对多种基板进行统一处理,同时保持对扩散温度的全面控制。在腔室内,一对感应线圈能够将晶片精确加热到所需的温度水平,并维持稳定的扩散环境。环境可以由环境大气或惰性气体维持,这取决于所进行的扩散过程的类型。炉子有一个内置的控制系统,使操作员能够点对点调节每个晶片的腔内温度,以提高精度。运算符还可以将温度剖面编程为随扩散温度移动,从而获得统一且可重复的结果。炉膛中使用的优质绝缘材料不仅减少了散热,而且保持了整个炉膛的温度稳定性和均匀性。除了具有高性能功能外,TEL ALPHA-8SE还配备了一系列附件,以进一步增强其满足客户需求的能力。其中包括自动装卸系统、氮源和数字充电器单元。该扩散炉适用于从低温应用到高温过程的广泛扩散过程。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE扩散炉是一种功能强大、用途广泛的半导体元件制造和测试工具。其最先进的设计确保了在完全控制温度和大气的情况下一致和可靠地产生最高质量的结果。此设备提供的各种附件允许进一步定制,使其成为从事行业和研究的人员的理想选择。
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