二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9282682 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE是为半导体器件制造而设计的多功能扩散炉设备。TEL ALPHA-8SE能够同时进行低温和高温处理,范围为1000 °C至2200 °C。它配备了最先进的技术，如分流器型监视器、接近传感器和自动远程交换能力。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE包括石英和陶瓷反应管，以实现最大的工艺均匀性和温度均匀性，从而在整个工艺过程中提高晶圆均匀性和提高收率。其低温和高温工艺功能，加上其独特的高温砷化的工艺能力，使器件制造商通过多种半导体工艺达到最佳效果。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E还具有先进的排气系统，可配置最多三个滚筒，在多步骤过程中达到最佳工艺均匀性和温度均匀性。其先进的实时诊断监控能力允许在任何给定时间精确控制设备参数，从而实现更好的晶圆均匀性和提高产量。TEL ALPHA 8 S E的快速启动功能确保了强大的流程监控和高吞吐量,从而缩短了设置和流程时间。它还配备了自动气线输入，除了双管机配置，使得它非常适合多步处理。它设计有一个自动温度控制杯，确保室内精确的温度，以及精确调节晶片持有者的水温。TEL ALPHA-8 SE还配备了许多使其易于用于各种应用程序的功能,例如,它的操作监控工具提供了流程可视化功能,并能够轻松进行实时修改。它的自动远程交换功能使多种扩散工具能够同时连接,并使不同工具之间的切换变得更加容易。其中包括一个直观的图形用户界面（GUI）,以实现资产的简化操作。此外，Alpha 8SE还设计了多项安全功能，以确保正常运行，如过电流保护器、紧急停止按钮、水压破裂探测器和高温冷却剂模型。它还配备了用于隔离个别线路的远程互锁，允许多个处理器运行而不会出现意外交叉污染的风险。总而言之，ALPHA 8S-E是一种功能强大、用途广泛的扩散炉设备，非常适合各种半导体器件制造应用。其先进的特点使得它适合研发，以及批量生产的目的。