二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #93405 待售
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ID: 93405
晶圆大小: 8"
优质的: 2002
APCVD furnace, 8"
Heater Model/Part No: VOS-40-017
Process: PIX Cure
Software Version: WAVE Controller
System Power Rating: 110AC One Phase / 208 AC
Loading Configuration 4 Loader
N2 LL
150 Wafer Load
Main System:
WAVES Controller
Photohelic Gauge
Boat Elevator
Wafer Load Automation
21 Cassette Stocker
Temperature Controller (M560)
Furnace Monitor, Power Control Unit
Remote Utility&Gas Cabinet
Inner T/C for Ration Mix
O2 Detector
Auto Shutter
Gas System (SiH4,CLF3,5%PH3,O2,N2,)
Options:
Signal Tower
Pitch Change Mechanism
UPS
GEM Communication
N2 Load Lock Ambient Control:
Quartz ware
Load lock purge system
Process gas O2,N2,
Gas Type - Convention Gas System
Tubing material - Stainless steel
Tubing Finish - Electro-polish
Manual valve - Fujikin
Fitting Type - VCR/UJR
Air-Operated valve - Fujikin
Filter - Millipore
Regulator - Veriflo
MFC - Aera
Pressure transducer - Millipore or NAGANO
Remote Components:
UTILITY BOX x1. Power Rating: 110/208AC
RCU cabinet x1 Power Rating: 110/208V
UPS x1. Power Rating: 110AC-1
Crated in a warehouse
2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是提供高效、低成本生产电子元件的扩散炉及配件。它可以集成到现有生产线中，并易于使用其自动化装载、温度控制和封闭式设备技术。该炉采用封闭式气体输送系统，采用强大的垂直和水平气体输送装置，最高温度可达1600°C。由于TEL ALPHA-8SE构造坚固，生命周期很长，适合执行需要高温的长任务。该炉还可以在高容量环境中工作，因为它能够同时容纳多达10个气源。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE还包含一个水冷却器，它可以在潮湿或潮湿的环境中安全使用。此工具还有助于确保温度稳定,以加快冷却和热量分布。最重要的是，用纯氮可以达到最大0.5%的渗漏水平，防止最终产物氧化。此外,TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E配备了一套独特的可变控件,只需一次触摸即可轻松调节,使操作员可以根据不同的生产需求调整设置。该炉还具有多区温度控制、可变气流和预付费检查功能等其他选项，以协助系统生产。TEL Alpha 8SE是一种高效可靠的扩散炉资产，非常适合大批量生产。ALPHA-8SE具有自动装载、温度控制和封闭式模型技术，是为下一条生产线寻找完整扩散炉和附件解决方桉的人的理想选择。
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