二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9410307 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是一种用于制造高端半导体的最先进的扩散炉。该扩散炉专为高性能晶圆加工而设计。具有循环时间少、响应时间快、高温均匀性等特点。TEL ALPHA-8SE的温度精度± 0.5°C,工艺可重复性± 0.2°C。该8SE采用经过调整的原位处理室构建,能够与相关系统和设备实现无缝集成。腔室由一个独特的原位过程控制器操作，能够精确控制过程参数。8SE也是完全自动化的，配有晶片装卸的分配/收集设备。该系统允许快速、高效的批处理操作。扩散炉还采用嵌入式集成电路处理技术，允许生产先进的集成电路。它配备了管理气流、压力、速度等参数的先进单元控制子系统。先进的过程控制器能够快速适应过程变化，能够进行多种控制。此外,8 SE还具有内置的数据采集和存储设施,以及目视检查和诊断机器。这使操作员可以随时监视和排除扩散过程。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE也有一个先进的机械臂来简化晶圆的装卸。机器人臂使用基于Windows的软件界面进行编程和操作。总体而言，ALPHA 8S-E是一种极其可靠和能干的扩散炉。它具有近乎完美的温度精度和可重复性，可根据各种工艺要求进行高度调节。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E拥有内置的数据采集、存储和机器人设备,是高端半导体组件的理想选择。