二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi #293817034 待售
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ID: 293817034
FTP-SiN furnace
N2 Load Lock
Maintenance fixture
Temperature Profile Jig
Inner Tube Installation Jig
Fork Pitch Gauge
HCT Heater Installation Jig
CKD Comb-Valve Maintenance Jig
Tube Cart
Single T/C and extension cable
Auto profile T/C
IGS Maintenance Jig
Safety Guard Fixture for back door
Backdoor Remover
Base Unit for FTP-SiN Process Cabinets/Units/Controllers
Furnace Cabinet(I-Type Deep Bay), Built in SMIF I/O
Power Supply Unit, Control Unit:3-ph 480VAC, 1-ph 120VAC.
Main Controller (WAVES)
Temperature Controller (Model 560)
Heater Type VOS-40-017 500-1000C (FTP Heater)
Rapid Cooling Unit
Cassette and Wafer Handling Automation
Auto Tube Shutter
Boat Elevator with Rotation Function
Boat Elevator CAP for Q'z process tube
Wafer Load Automation
(25) Wafers/6" Conversion Cassette
(21) Cassette Loading Automation
Cassette model: Entegris KXTC150-0 200-97C02
SMIF POD Model: Entegris M200-5114
6" Si/Glass Wafer Handling Capability
SiN Process:
Integrated Gas System for F-Poly Process
(2) NH3 Gas Line (with N2 purge line)
(1) DCS Gas Line (with N2 purge line)
(3) N2 Gas Line
(2) Pure N2 Gas Line
(1) N2 line for boat rotation.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SEi是专门为高性能半导体制造工艺而设计的最先进的扩散炉。这款先进设备集成了尖端技术，为半导体行业的掺杂退火应用提供精确可靠的效果。TEL Alpha 8SEi是TEL着名扩散炉系列的一部分，以其在半导体加工中无与伦比的性能和可靠性着称。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SEi系统的核心是其坚固而创新的设计，其设计符合现代半导体制造的苛刻要求。炉膛采用高纯度材料建造，保证了较高的热稳定性和工艺清洁度。这种优化的设计允许在腔室内均匀分布温度和控制气体流动，从而实现精确的过程控制和整个晶圆表面一致的掺杂剖面。Alpha 8SEi具有先进的加热和冷却机制,可以在整个过程周期中快速进行热倾斜和精确的温度控制。这种能力对于实现半导体器件中的精确掺杂活化和退火剖面至关重要。该机组配备了多个加热区和气体喷射器，为特定工艺要求量身定制热条件，确保了广泛应用的最佳性能和灵活性。除了卓越的热性能外，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SEi炉还融合了一系列先进的功能，以提高工艺效率和可靠性。该机配备了精确的气流控制系统和自动化配方管理功能，允许与制造工作流无缝集成，并最大限度地减少操作员干预。该炉还包括全面的安全机制和设备监测系统，以确保操作可靠性和人员随时安全。TEL Alpha 8SEi工具的主要亮点之一是其卓越的过程重复性和产生的优化能力。该资产旨在最大限度地减少晶圆对晶圆的变化和工艺偏差,确保设备性能一致和制造产量高。该炉软件配备了先进的工艺建模和优化工具，以微调工艺参数，达到特定设备要求的最佳性能。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SEi模型还考虑到可扩展性和多功能性，允许无缝集成到现有半导体制造设施和工艺流程中。设备可以轻松定制和升级，以适应不断变化的工艺需求和技术节点，确保半导体制造商的长期性能和投资保护。总体而言，Alpha 8SEi扩散炉是半导体制造中精密掺杂和退火工艺的尖端解决方桉。凭借其先进的技术、卓越的性能和可靠的运行,TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SEi为半导体制造商提供了在快速发展的行业环境中实现高设备性能、产量优化和工艺效率的竞争优势。
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